Archiv / 2009 / #4
Deutsche Forschungsunternehmen ordern Anlagen aus der multivalenten "DREVA OPT" Typenreihe.
Noch in diesem Jahr wird eine dieser Anlagen beim IFW Dresden e.V., Abt. Verspannte Nanoarchitekturen und Anfang 2010 beim EWE-Forschungszentrum für Energietechnologie e.V. in Betrieb gehen.
Beide Anlagen haben eine sehr kundenspezifische Ausstattung und gestatten hochpräzise Schichtabscheidungen.
