Horizontale Systeme
Typenreihe META
Unterschiedlich große, horizontale Beschichtungssysteme mit einem Kammerdurchmesser von ca. 1000 - 2050 mm und einer variablen Nutzlänge von ca. 1250 - 2900 mm. Die Anzahl der Quellengruppen ist wählbar und beträgt max. 3-4 Stück. Das Aufdampfmaterial kann Al, Cu, CrNi, Ag, Au sowie Verbindungen aus ZnS, MgF2 und SiOx sein. Die typische Schichtdicke ist je nach Anwendungsfall 0,05 bis 0,3 µm stark.
Kurze Beschichtungszeiten, äußerst sparsamer Material- und Medieneinsatz und individuelle, automatisierte Bestückungssysteme garantieren eine hohe Produktivität bei gleichbleibender Qualität und somit einen äußerst wirtschaftlichen Chargenbetrieb. Die Chargenzeiten betragen, je nach Anwendungsfall 10 bis 40 Minuten.
Optionen zu den Anlagen, wie z.B. eine Plasmapolymerisationseinrichtung zur Abscheidung einer transparenten Schutzschicht oder ein Dickschichtverdampfer zum Aufbringen von 1 bis 3 µm Metallschichten sowie periphere Ausrüstungen können das Einsatzspektrum der Anlagen erweitern.
Referenzobjekte: META 1100, META 1450, META 1800, META 1900, META 2050
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Kurze Beschichtungszeiten, äußerst sparsamer Material- und Medieneinsatz und individuelle, automatisierte Bestückungssysteme garantieren eine hohe Produktivität bei gleichbleibender Qualität und somit einen äußerst wirtschaftlichen Chargenbetrieb. Die Chargenzeiten betragen, je nach Anwendungsfall 10 bis 40 Minuten.
Optionen zu den Anlagen, wie z.B. eine Plasmapolymerisationseinrichtung zur Abscheidung einer transparenten Schutzschicht oder ein Dickschichtverdampfer zum Aufbringen von 1 bis 3 µm Metallschichten sowie periphere Ausrüstungen können das Einsatzspektrum der Anlagen erweitern.
Referenzobjekte: META 1100, META 1450, META 1800, META 1900, META 2050
META 1100 [ 
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META 1450 [ Datenblatt ]
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META 2050 [ Datenblatt ]
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