Kurztaktsysteme

Die META ROT ist ein flexibles, horizontales Kurztaktsystem zum Metallisieren, einschließlich Schutzbeschichtung von Kunststoffbauteilen und konzipiert für den Einsatz in Taktstrassen. Die Substratträger haben einen Hüllkreisdurchmesser von ca. 500 mm und eine nutzbare Beschichtungslänge von maximal 2.040 mm. Für einen typischen Beschichtungsprozess (Al/Schutzbeschichtung) beträgt die Chargenzeit ca. 4 min. Die Metallisierung erfolgt mittels einer Hochleistungssputtereinrichtung. Neben dem Standardtargetmaterial Aluminium können auch andere Metalle, wie zum Beispiel Cu, CrNi, Cr, Ag und Edelstahl eingesetzt werden.

Das Anlagenkonzept erlaubt die kundenspezifische Anpassung der Anlagenabmessungen an vorhandene Substratträgereinrichtungen.

Referenzobjekte: META ^ROT 500 Downloads:

Die META CIRCLE ist ein vollautomatisches 5-Kammer-Sputtersystem, welches speziell für die Einbindung in Taktstraßen entwickelt wurde. Der Teiletransport erfolgt horizontal über ein Transportband. Dadurch minimieren sich die Anforderungen an die Halterung und Maskierung. Ein systeminterner 180°-Umsetzer übernimmt die Teilepalette und befördert sie in eine Vakuum-Schleusenkammer. Von dort erfolgt der Palettentransport weiter in die Vakuum-Ringkammer und in kurzen Taktschritten zu den Prozesskammern. In den einzelnen Prozesskammern befinden sich die für die jeweiligen Beschichtungsprozesse (Vorbehandlung - Metallisierung - Schutzschicht) notwendigen Komponenten. Durch die parallel ablaufenden Prozessschritte wird erreicht, dass aller 38 Sekunden eine beschichtete Palette die Anlage verlassen kann und eine neue wird dem Beschichtungsprozess zugeführt. Über der Ringkammer sind die Vakuumpumpensysteme und die erforderlichen Schaltschränke angeordnet.

Referenzobjekte: META ^CIRCLE 850 Downloads: