Feinoptik
Die vollautomatischen Beschichtungssysteme der VTD-Typenreihe "VERA" wurden für den industriellen Einsatz entwickelt. Sie sind besonders für eine kostengünstige, optische Präzisionsvergütung von planen oder gewölbten Bauteilen geeignet.
Die Ausstattung jedes einzelnen Beschichtungssystems wird präzise auf die Belange des Anwenders abgestimmt. Es sind vielfältige Applikationen möglich , sowohl bezüglich der zu beschichtenden Substrate als auch der abzuscheidenden Schichtsysteme.
Es stehen Kammergrößen von 700 mm bis 2.000 mm zur Verfügung.
Die Erzeugung des Hochvakuums erfolgt mit industrieerprobten Pumpenkombinationen, zumeist basierend auf Öldiffusionspumpe oder Refrigerator-Kryopumpe.
Diverse Substrathalterungen, wie verschiedene Kalotten oder Paletten mit regelbaren Rotations- oder Planetenantrieb, garantieren in Kombination mit Schichtdickenkorrekturblenden die gleichmäßige Schichtverteilung.
Diverse Vorbehandlungseinrichtungen sorgen für gute Haftungsbedingungen.
Die eigentliche Beschichtung erfolgt auf der Basis von Dampfquellen (Elektronenstrahl-Verdampfungseinrichtungen und/oder Widerstandsverdampfer) oft auch unter Mitwirkung einer Ionen- oder Plasmaquelle, bei der sogenannten ionengestützen Abscheidung. Sputtern und Ionenstrahlsputtern sind alternative Beschichtungsverfahren.
Weitere wichtige Komponenten im Prozess sind Geräte zur Schichtdickenbestimmung und -limitierung sowie zur Regelung der Aufwachsgeschwindigkeit. Für besonders anspruchsvolle Anwendungen werden zusätzlich optische Messsysteme eingesetzt.
Für den Laborbetrieb stehen kleinere Anlagen zur Verfügung.
Referenzobjekte: DREVA OPT 400, DREVA LAB 450, VERA 900, VERA 1100, VERA 1400, VERA 1600, VERA 2000
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Die Ausstattung jedes einzelnen Beschichtungssystems wird präzise auf die Belange des Anwenders abgestimmt. Es sind vielfältige Applikationen möglich , sowohl bezüglich der zu beschichtenden Substrate als auch der abzuscheidenden Schichtsysteme.
Es stehen Kammergrößen von 700 mm bis 2.000 mm zur Verfügung.
Die Erzeugung des Hochvakuums erfolgt mit industrieerprobten Pumpenkombinationen, zumeist basierend auf Öldiffusionspumpe oder Refrigerator-Kryopumpe.
Diverse Substrathalterungen, wie verschiedene Kalotten oder Paletten mit regelbaren Rotations- oder Planetenantrieb, garantieren in Kombination mit Schichtdickenkorrekturblenden die gleichmäßige Schichtverteilung.
Diverse Vorbehandlungseinrichtungen sorgen für gute Haftungsbedingungen.
Die eigentliche Beschichtung erfolgt auf der Basis von Dampfquellen (Elektronenstrahl-Verdampfungseinrichtungen und/oder Widerstandsverdampfer) oft auch unter Mitwirkung einer Ionen- oder Plasmaquelle, bei der sogenannten ionengestützen Abscheidung. Sputtern und Ionenstrahlsputtern sind alternative Beschichtungsverfahren.
Weitere wichtige Komponenten im Prozess sind Geräte zur Schichtdickenbestimmung und -limitierung sowie zur Regelung der Aufwachsgeschwindigkeit. Für besonders anspruchsvolle Anwendungen werden zusätzlich optische Messsysteme eingesetzt.
Für den Laborbetrieb stehen kleinere Anlagen zur Verfügung.
Referenzobjekte: DREVA OPT 400, DREVA LAB 450, VERA 900, VERA 1100, VERA 1400, VERA 1600, VERA 2000
DREVA OPT 400 [ 
Datenblatt ]
DREVA LAB 450 [ Datenblatt ]
VERA 900 [ Datenblatt ]
VERA 1100 [ Datenblatt ]
VERA 1400 [ Datenblatt ]
VERA 1600 / VERA 2000 [ Datenblatt ]
Datenblatt ]DREVA LAB 450 [
Datenblatt ]VERA 900 [
Datenblatt ]VERA 1100 [
Datenblatt ]VERA 1400 [
Datenblatt ]VERA 1600 / VERA 2000 [
Datenblatt ]