Klein- und Laboranlagen
VTD entwickelt Hochvakuumanlagen für den Laborbetrieb, für Forschung und Lehre sowie für den Kleinfertigungsbereich.
Einsatzgebiete sind optische Anwendungen (Feinoptik), die Plasmabehandlung, Oberflächenaktivierung und Wärmebehandlung.
Die vakuumtechnische Ausstattung jedes einzelnen Systems wird präzise auf die Belange des Anwenders abgestimmt. Es sind vielfältige Applikationen bezüglich der zu behandelnden Substrate möglich.
Es stehen Kammergrößen von 300 mm bis 500 mm zur Verfügung.
Die Erzeugung des Hochvakuums erfolgt mit industrieerprobten Pumpenkombinationen, meist basierend auf Turbomolekularpumpen.
Referenzobjekte: DREVA THERM 400, DREVA CLEAN 350, DREVA CLEAN 450, DREVA DRY 400, DREVA LAB 700
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Einsatzgebiete sind optische Anwendungen (Feinoptik), die Plasmabehandlung, Oberflächenaktivierung und Wärmebehandlung.
Die vakuumtechnische Ausstattung jedes einzelnen Systems wird präzise auf die Belange des Anwenders abgestimmt. Es sind vielfältige Applikationen bezüglich der zu behandelnden Substrate möglich.
Es stehen Kammergrößen von 300 mm bis 500 mm zur Verfügung.
Die Erzeugung des Hochvakuums erfolgt mit industrieerprobten Pumpenkombinationen, meist basierend auf Turbomolekularpumpen.
Referenzobjekte: DREVA THERM 400, DREVA CLEAN 350, DREVA CLEAN 450, DREVA DRY 400, DREVA LAB 700
DREVA THERM 400 [ 
Datenblatt ]
DREVA CLEAN 350 [ Datenblatt ]
DREVA DRY 350 [ Datenblatt ]
DREVA LAB 450 [ Datenblatt ]
Datenblatt ]DREVA CLEAN 350 [
Datenblatt ]DREVA DRY 350 [
Datenblatt ]DREVA LAB 450 [
Datenblatt ]