VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
Niedersedlitzer Straße 75
01257 Dresden

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Veröffentlichungen


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2015



Dr. Wolfgang Fukarek, Michael Falz, Martin Holzherr, Marc Tobias Wenzel, Uwe Heydenreich, VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH; Dr. Marcus Kennedy, Rolf Lammers, Dr. Yuriy Ivanov, Dr. Steffen Hoppe, Federal Mogul Burscheid
Erfolgreiche Industrialisierung des Laser Arc Verfahrens zur Abscheidung von wasserstofffreien Kohlenstoffschichten bei der Beschichtung von automotiven Kolbenringen
Vortrag auf der V2015 in Dresden


M. Holzherr, Dr. W. Fukarek, M. Falz and M. T. Wenzel - VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH, Dresden/Germany; Dr. V. Weihnacht, Prof. A. Leson, Fraunhofer Institut für Werkstoff- und Strahltechnik, IWS Dresden
Laser-Arc-PVD-Technology for ta-C coatings
Vortrag bei:
INPLAS e. V.
AG »Neuartige Plasmaquellen und -prozesse« im Fraunhofer-Institut für Schicht-und Oberflächentechnik, FhG IST Braunschweig/Deutschland




2014



T. Schmidt, VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
"Hartstoffschichten zur Leistungsverbesserung von Umformwerkzeugen"
Vortrag am Fraunhofer-Institut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik IWU, 19.03.2014, Chemnitz


M. Falz1, M. Holzherr1, T. Schmidt1, K.-D. Steinborn1, Dr. H.-J. Scheibe2, Prof. A. Leson2, Dr. V. Weihnacht2, 1 VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH, 2 Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik Dresden
"Laser-Arc-Technology for deposition of 1 - 30 µm thick ta-C films on tools and machine parts characterized by super-hardness and low friction coefficient"
57th SCV Chicago, 05.–08.05.2014 , Chicago, USA


M. Holzherr, M. Falz, T. Schmidt, S. Emmrich
"Wear resistant AlTiSiN-thin film deposition provided in a small hardmaterial coating system by vacuum arc P+- technology for advanced wear protection of tools"
Friction, Wear & Wear Protection 2014, 06. – 08.05.2014, Karlsruhe



2013



M. Falz (1), M. Holzherr (1), K.-D. Steinborn(1), T. Schmidt (1), H.-J. Scheibe (2), A. Leson (2), V. Weihnacht (2)
The LAM Family – Tools for Production of ta-C Coatings with Excellent Properties
40th ICMCTF, 29.04.-03.05.2013, San Diego, USA

(1) VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
(2) Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik Dresden


M. Falz (1), M. Holzherr (1), K.-D. Steinborn (1), T. Schmidt (1), H.-J. Scheibe (2), A. Leson (2), V. Weihnacht (2)
The Laser-Arc-Technology – Basis for the Fabrication of diamond-like carbon coatings
9th AEPSE, 25.-30.08.2013, Jeju, Südkorea

(1) VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
(2) Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik Dresden



2012



M. Holzherr (1), T. Schmidt (1), M. Falz (1), H.-J. Scheibe (2), M. Leonhardt (2), C.-F. Meyer (2)
Integration of macro particle filter system in Larco(R)-technology for ta-C coatings in an industrial hard material batch system
Poster, 12th PSE, 10.-14.09.2012, Garmisch-Partenkirchen, BRD

(1) VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
(2) Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik Dresden


M. Holzherr (1), M. Falz (1), T. Schmidt (1), H.-J. Scheibe (2), M. Leonhardt (2), C.-F. Meyer (2)
Integration of the Larco(R)-technology for ta-C coatings in an industrial hard material batch system
ICMCTF, 23.-27.04.2012, San Diego, USA

(1) VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
(2) Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik Dresden


B. Gebhardt, M. Falz, B. Bücken, K.-D. Steinborn
Vakuummetallisierungsanlagen im Wandel der letzten zwei Jahrzehnte
20. Neues Dresdner Vakuumtechnisches Kolloquium, 25.-26.10.2012, Dresden, BRD



2011



M. Holzherr (1), T. Schmidt (1), M. Falz (1), H.-J. Scheibe (2), M. Leonhardt (2), C.-F. Meyer (2)
Integration of the Larco(R)-Technology for ta-C-Coatings
European Symposium on Friction, Wear and Wear Protection, 26.-28.10.2011, Karlsruhe, BRD

(1) VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
(2) Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik Dresden


Dr. B. Gebhardt, K.-D. Steinborn, T. Steinborn, G. Buschbeck, M. Falz
New Rapid Metallizer for Fully Automated PVD-Metallization in the Packaging Industry
54th SVC, 16.-21.04.2011, Chicago, USA


M. Holzherr (1), M. Falz (1), T. Schmidt (1), H.-J. Scheibe (2), A. Leson (2), M. Leonhardt (2), C.-F. Meyer (2)
ta-C-Beschichtung in einer industriellen Hartstoffbeschichtungsanlage
V2011 – Industrieausstellung 6 Workshop-Woche Vakuumbeschichtung und Plasmaoberflächentechnik, 17.-20.10.2011, Dresden, BRD

(1) VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
(2) Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik Dresden


B. Gebhardt, M. Falz, B. Bücken, G. Buschbeck, K.-D. Steinborn
Weiterentwickeltes vollautomatisches Metallisierungssystem META CIRCLE 850.1
19. Neues Dresdner Vakuumtechnisches Kolloquium, 19.-20.10.2011, Dresden, BRD



2010



B. Gebhardt, M. Holzherr, M. Falz, T. Schmidt
Influence of Hollow Cathode Plasma on AlTiSiN-Thin Film Deposition With Vauum Arc Evaporation Sources
53 rd SVC Technical Conference
17. - 22. 04. 2010, Orlando / USA


T. Schmidt, M. Holzherr, M. Falz
Das P+-Hartstoffbeschichtungsverfahren – eine Technologie zur Erzeugung neuartiger Schichteigenschaften
6. Thüringer Grenz- und Oberflächentage, 07.-09.09.2010, Gera, BRD


M. Holzherr, T. Schmidt, M. Falz
Hollow cathode plasma assisted AlTiSiN-thin film deposition by vacuum arc P+-technology for advanced wear protection of tools
SMT 24, 07.-09.09.2010, Dresden, BRD


B. Gebhardt, M. Holzherr, M. Falz, T. Schmidt
Influence of Hollow Cathode Plasma on AlTiSiN-Thin Film Deposition With Vacuum Arc Evaporation Sources
53th SVC, 17.-22.04.2010, Chicago, USA


B. Gebhardt, B. Bücken, M. Falz
Kurztaktmetallisierungssystem META TABLE C – als Teil einer vollautomatischen Produktionslinie in der Verpackungsindustrie
18. Neues Dresdner Vakuumtechnisches Kolloquium, 21.-22.10.2010, Dresden, BRD


B. Gebhardt, B. Bücken, M. Falz, T. Steinborn
Rapid Metallizer as a Part of a Fully Automated Production Line in the Packaging Industry
53th SVC, 17.-22.04.2010, Chicago, USA



2009



M. Holzherr, T. Schmidt, M. Falz, U. Teicher, A. Nestler
Werkzeug Technik 111 (Dezember 2009), ISSN 0997-6981, pp. 44-48



2008



M. Holzherr, M. Falz, T. Schmidt
Surface & Coating Technology 203, 2008, pp. 505 -509


M. Holzherr, M. Falz, T. Schmidt
Influence of hollow cathode plasma on AlCrN-thin film deposition with vacuum arc evaporation sources
Vortrag
35th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2008)
San Diego, California, April 28 - May 2, 2008


B. Gebhardt
Kurztaktsysteme für Metallisierungsaufgaben
Vortrag
Kooperationsforum "Moderne Beschichtungs- und Oberflächentechnologien", 15.10.2008, Dresden, MSR Aerospace GmbH


M. Holzherr, T. Schmidt, M. Falz
P+ - Prozess: Hohlkatodenunterstützte AlTiSiN-Schichtabscheidung mittels Vakuumbogenverdampfung
Vortrag
Workshop "Oberflächentechnik in der Produktion - Schichten in geschmierten und ungeschmierten Systemen", 17. Oktober 2008, Fraunhofer IWS Dresden


Surface & Coating Technology 203, 2008, pp. 505 -509
P+-hard material coating technology - an effective process for deposition of film with improred properties
Vortrag
51th SVC Technical Conference, 19. - 25.04.2008, Chicago/USA


T. Schmidt, M. Falz, M. Holzherr
P+-process - Hollow cathode plasma assisted AlTiSiN-thin film deposition using of vacuum arc evaporation
Poster
11th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2008), September 15 - 19, 2008 Garmisch-Partenkirchen (Germany)


R. Nyderle, T. Kopte, T. Preußner, B. Gebhardt, M. Falz, B. Bücken
Transparente Enteisungsschichten für kompliziert gekrümmte 3D-Kunststoffbauteile
Vortrag
16. Neues Dresdner Vakuumtechnisches Kolloquium "Beschichtung, Modifizierung und Charakterisierung von Polymeroberflächen", 16. und 17. Oktober 2008 Leibniz-Institut für Polymerforschung Dresden e. V.
ISBN: 978-3-9812550-0-3