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META 1100

Klassische horizontale Batchanlage
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META 1100

Die META 1100 ist eine vielseitige Batchanlage zum thermischen Widerstandsverdampfen von Al, Cu, Au, Ag oder NiCr mit anschließender Schutzbeschichtung, welche auch zur Dickschichtabscheidung für EMV-Schichten genutzt werden kann. Der horizontale Aufbau der Anlage ermöglicht dabei eine ergonomisch bedienerfreundliche Bestückung mit Substraten.

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META TABLE

Kurztakt-Sputteranlage für die Verpackungsindustrie
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META TABLE

Die vollautomatische Kurztaktanlage META TABLE kann in eine vollautomatische Produktionslinie mit vor- und nachgelagerten Fertigungsprozessen integriert werden. Vor allem in der Kosmetikverpackungsindustrie findet die Sputteranlage in Kombination mit Lackieranlagentechnik ihre optimale Anwendung.

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DREVA 1050 LAM

Produktionserprobte PVD-Anlage für ta-C Beschichtung mit hohem Durchsatz
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DREVA 1050 LAM

Beschichtungsvolumen: Ø 1050 mm x 1100 mm
Laser-Arc-Modul (LAM) für ta-C Abscheidung
Prozesstemperatur: <180°C
Schichtdicke: bis >30µm
ARC-Quellen für Metallionen-Ätzen und Haftschicht
Option: Planar-oder Rohr-Magnetrons für HiPIMS-Haftschicht

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DREVA 600C

DIE universelle PVD-Hartstoff- beschichtungsanlage. Seit Jahren optimiert und erprobt.
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DREVA 600C

Beschichtungsvolumen: Ø 500 mm x 500 mm
Prozesstemperatur: < 500°C
ARC-Quellen & Stromversorgungen sind VTD geschützte Lösungen
Optional: Magnetrons mit HiPIMS Stromversorgungen
Kompaktes Rahmendesign

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DREVA 600 LAM

High-End PVD-Beschichtungsanlage f. ta-C Schichten auf Basis DREVA 600
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DREVA 600 LAM

Beschichtungsvolumen: Ø 500 mm x 500 mm
Laser-Arc-Modul (LAM) für ta-C Abscheidung, optional mit Makropartikelfilter
Prozesstemperatur: <180°C
Arc-Quellen für Metallionen-Ätzen und Haftschicht
Option: Planar- oder Rohr-Magnetrons für HiPIMS-Haftschicht

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META CIRCLE

PVD-Kurztaktanlage für die Einbindung in vollautomatische Großserien-Produktionsprozesse
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META CIRCLE

Die vollautomatische Vier-Kammeranlage META CIRCLE wurde für die Integration in vollautomatische Taktstraßen mit bis zu 8 Spritzgießanlagen entwickelt. Der horizontale Substrattransport vereinfacht die Substrathalterung und reduziert die Kosten für das Handling.

Die META CIRCLE umfasst 4 Stationen: Be- und Entladung, Plasma-Vorbehandlung, Metallisierung, Plasma-Nachbehandlung. Der Hochrate-Magnetron-Sputterprozess ermöglicht die Verwendung verschiedenster metallischer Beschichtungsmaterialien.

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DREVA 400

Kleinste kompakte PVD-Anlage der DREVA Baureihe für die Beschichtung kleiner Werkzeuge oder Bauteile
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DREVA 400

Beschichtungsvolumen: Ø 350 mm x 200 mm
ARC-Quellen & Stromversorgungen sind VTD-Komponenten
Option: Planar-Magnetrons auch für HiPIMS
Hohlkathode zur Substratvorbehandlung (Heizen und Ätzen)
Prozesstemperatur: < 500°C
Kompaktes Rahmendesign

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Inlineanlage

PVD Inlineanlage: individuelles Design mit Möglichkeit zur Einbindung in die automat. Produktion
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Inlineanlage

PVD Inline Systeme sind technologisch und technisch flexibel spezifizierbar, ermöglichen kurze Taktzeiten für höchste Produktivität und können in eine voll-automatisierte Produktion integriert werden.

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Custom Design

Individuelle Anlagenfertigung für Ihr Produkt und Ihren Prozess.
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Custom Design

Die VTD plant und fertigt in enger Zusammenarbeit mit Ihren Kunden individuelle Anlagenlösungen. Die Herstellung der Anlagen erfolgt auf Wunsch mit angepasster technischer Spezifikation mit dem Ziel einer wirtschaftlichen und prozessoptimierten Lösung - angefangen bei der Konstruktion bis zur Inbetriebnahme.

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META V 1800

Vertikale Batchanlage für die Großserienfertigung
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META V 1800

Die META V 1800 ist eine vertikale Doppeltür-Batchanlage, insbesondere für das thermische Widerstandsverdampfen von Al.

Die META V 1800 kann mit Plasma-Polymerisation (MF-PECVD) zum Aufbringen einer SiOx Schutzschicht auf dem Metall ausgerüstet werden.

Das vertikale Doppeltür-Konzept erfordert eine geringere Aufstellfläche gegenüber horizontalen Batchanlagen und ermöglicht einen effizienten Betrieb der Anlage durch das wechselseitige direkte Bestücken der Drehkörbe mit Substraten.

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MINIMET

Vollautomatische, kompakte PVD-Kurztaktanlage für die Metallisierung von Kleinteilen
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MINIMET

Die MINIMET ist eine vollautomatische PVD-Kurztaktanlage für die Einbindung in einen automatischen Fertigungsprozess mit Roboter-Be- und -Entladung. Sie verfügt über 4 Stationen: Be- und Entladung, Plasma-Vorbehandlung, Metallisierung, Plasma-Nachbehandlung.

Durch die kompakte Bauweise und geringe Aufstellfläche kann die MINIMET in unmittelbarer Nähe zu Spritzgießanlagen positioniert werden. Mit ihrer Taktzeit von 40 Sekunden kann sie die Produkte von bis zu 3 Spritzgießanlagen beschichten.

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