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META 1100

Die zuverlässige Standard-Metallisierungsanlage für Ihre Produktion
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META 1100

Horizontale Batchanlage zum thermischen Widerstandsverdampfen von Al, Cu, Au, Ag, NiCr mit anschließender Schutzbeschichtung.

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META TABLE

Kurztakt-Sputteranlage für die Verpackungsindustrie
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META TABLE

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DREVA 1050 LAM

Zuverlässige PVD-Beschichtungsanlage für hochfeste & reibungsminimierende ta-C Kohlenstoffschichten
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DREVA 1050 LAM

Laser-ARC-Modul (LAM): ta-C Abscheidung
Steered ARC Quelle: nCr (optionale Haftschichten: Cr, Ti, CrN, …)
Beschichtungsvolumen: Ø 1050 mm x 1100 mm
Prozesstemperatur: <180°C
Schichtdicke: up to 30µm

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DREVA 600

Leistungsfähige, optimierte und seit Jahren erprobte PVD-Hartstoffbeschichtungsanlage
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DREVA 600

Beschichtungsvolumen: Ø 500 mm x 500 mm
Prozesstemperatur: < 500°C
ARC-Quellen & Stromversorgungen sind VTD geschützte Lösungen
Optional: Magnetrons mit HiPIMS Stromversorgungen
Kompaktes Rahmendesign

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DREVA 600 LAM

Zuverlässige PVD-Beschichtungsanlage f. hochfeste ta-C Kohlenstoffschichten f. glatte 3D-Oberflächen
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DREVA 600 LAM

Laser-ARC-Modul (LAM): ta-C Abscheidung
Optional mit Makropartikelfilter
Steered ARC-Quellen: Cr (optionale Haftschichten:Ti, CrN, …)
Optional planar HiPIMS-Abscheidung der Haftschicht möglich
Beschichtungsvolumen: Ø 500 mm x 500 mm
Prozesstemperatur: <180°C

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META CIRCLE

Mehrkammer-Beschichtungsanlage für die Einbindung in den vollautomatischen Serien-Produktionsablauf
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META CIRCLE

META CIRCLE ist eine Mehrkammer-Beschichtungsanlage, bestimmt zur Abscheidung von metallischen Schichten und nichtmetallischen Schutzschichten. Dieses vollautomatische 5-Kammer-Vakuumsystem wurde speziell für die Einbindung in vollautomatische Taktstraßen entwickelt. Der Substrattransport erfolgt horizontal.

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DREVA 400

Vielseitige PVD-Beschichtungsanlage im Labormaßstab für Lehre, Forschung und Industrie
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DREVA 400

Beschichtungsvolumen: Ø 350 mm x 200 mm
ARC-Quellen & Stromversorgungen sind VTD geschützte Lösungen
Optional: Planar HiPIMS Abscheidung
Hohlkathode zur Substratvorbehandlung (Heizen und Ätzen)
Prozesstemperatur: < 500°C
Kompaktes Rahmendesign

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Inline Anlagen

PVD Inline Systeme: individuelles Design mit Möglichkeit zur Einbindung in die automat. Produktion
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Inline Anlagen

PVD Inline Systeme sind technologisch und technisch flexibel spezifizierbar, ermöglichen kurze Taktzeiten für höchste Produktivität und können in eine voll-automatisierte Produktion integriert werden.

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Custom Design

Individuelle Anlagenfertigung für Ihr Produkt und Ihren Prozess.
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Custom Design

Die VTD plant und fertigt in enger Zusammenarbeit mit Ihren Kunden individuelle Anlagenlösungen. Die Herstellung der Anlagen erfolgt auf Wunsch mit angepasster technischer Spezifikation mit dem Ziel einer wirtschaftlichen und prozessoptimierten Lösung - angefangen bei der Konstruktion bis zur Inbetriebnahme.

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META V 1800

Vertikale Batch-Metallisierungsanlage für den Einsatz in der Großserienfertigung
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META V 1800

Das vertikale Doppeltürkonzept der Metallisierungsanlage erfordert eine kleinere Aufstellfläche und sorgt in Kombination mit einem leistungsstarken Vakuumpumpsystem für höhere Produktivität verglichen mit horizontalen Systemen.

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MINIMET

Vollautomatische PVD-Beschichtungsanlage für die Kleinserienfertigung
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MINIMET

Die MINIMET ist eine vollautomatische Mehrkammer - PVD Beschichtungsanlage für die Abscheidung von metallischen Schichten und nichtmetallischen Schutzschichten. Die Anlage arbeitet im Chargenbetrieb parallel und synchron zu den Spritzgießanlagen und kann mithilfe eines kundenseitigen Roboters automatisch mit Substraten bestückt werden.

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