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Funktionalisierung

Die Plasma-Oberflächenbehandlung ist Bestandteil nahezu aller bei VTD angewandten Technologien. Reinigungsverfahren mit Plasmen bei Niederdruck ermöglichen die mikroskopisch-gründliche, nicht aggressive und mechanisch zerstörungsfreie Entfernung von Partikeln und Absorbaten wie Oxidschichten, organischen Verunreinigungen (Öl, Wachs, Lack) und Mikroorganismen (Sterilisation) auf Oberflächen. Gleichzeitig dienen Sie der Aktivierung der Oberfläche mit dem Ziel einer verbesserten Haftung der im Anschluss aufgebrachten PVD-Schicht.

Zusammengefasst dient die Plasmabehandlung der

  • Verbesserung der PVD-Schichthaftung
  • Entfernung der "Wasserhaut"
  • Aktivierung der Substratoberfläche
  • Modifizierung der Substratoberfläche
  • Reinigung von Substratoberflächen


Im allgemeinen wird nach der Evakuierung auf einen Prozessdruck, der im Bereich von ca. 5 x 10-4 bis 1 x 10-1 mbar liegt, ein Plasma gezündet. Bevorzugt wird ein Glimmentladungsplasma eingesetzt, welches sowohl von einer Gleichstrom- als auch von einer Wechselstromquelle aufrechterhalten werden kann. Als Prozessgase werden häufig Luft, Stickstoff, Argon, Sauerstoff oder deren Gemische eingesetzt.

Die im Plasma gebildeten Ionen und Elektronen wirken nun auf die Substratoberfläche ein. Dabei kommt es an der Oberfläche bzw. den oberflächennahen Bereichen zu Wechselwirkungen zwischen den Teilchen des Plasmas und denen des Substrates. Ergebnis dieser Wechselwirkung können die Entfernung von an der Oberfläche adsorbierter Teilchen (z. B. H2O), die Anregung von Oberflächenatomen, das Aufbrechen von Verbindungen an der Substratoberfläche, die Modifizierung der Substratoberfläche durch chemische Reaktionen oder vieles mehr sein. Durch Wahl der geeigneten Prozessparameter (Art des Plasmas, Druck, Prozessgas, Spannung, Strom) lässt sich einstellen, welcher dieser Prozesse bevorzugt auftritt.

 

Kategorie:

META CIRCLE

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META CIRCLE

META CIRCLE ist eine Mehrkammer-Beschichtungsanlage, bestimmt zur Abscheidung von metallischen Schichten (vorrangig Aluminium-Schichten) und nichtmetallischen Schutzschichten. Dieses vollautomatische 5-Kammer-Vakuumsystem wurde speziell für die Einbindung in vollautomatische Taktstraßen entwickelt. Der Substrattransport erfolgt horizontal.

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DREVA 400

Unsere Anlage zur Hartstoffbeschichtung für den kleinen bis mittleren Beschichtungsbedarf
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DREVA 400

Die DREVA 400 ist eine leistungsfähige PVD-Hartstoffbeschichtungsanlage für den kleinen bis mittleren Beschichtungsbedarf. Neben dem industriellen Einsatz ist sie aufgrund ihrer technologischen Flexibilität auch für den Lehr- und Forschungsbereich geeignet. Technologisch kann die DREVA 400 sowohl mit modernen Sputter- oder klassischen Arc-Quellen ausgestattet werden.

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PVD Inline Systeme: individuelles Design mit Möglichkeit zur Einbindung in die automat. Produktion
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Inline Anlagen

PVD Inline Systeme sind technologisch und technisch flexibel spezifizierbar, ermöglichen kurze Taktzeiten für höchste Produktivität und können in eine voll-automatisierte Produktion integriert werden.

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MINIMET

Vollautomatische PVD-Beschichtungsanlage für die Kleinserienfertigung
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MINIMET

Die MINIMET ist eine vollautomatische Mehrkammer - PVD Beschichtungsanlage, bestimmt zur Abscheidung von metallischen Schichten und nichtmetallischen Schutzschichten in der Massengüterbeschichtung. Die Anlage arbeitet im Chargenbetrieb parallel und synchron zu den Spritzgießanlagen und kann mithilfe eines kundenseitigen Roboters automatisch mit Substraten bestückt werden.

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