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Lichttechnik

Beschichtungsanlagen der VTD werden u.a. in den Herstellungsprozess von Reflektoren in der Lichttechnik eingebunden. Dabei geht es vor allem um die Steigerung der Lichtausbeute durch das Aufbringen einer hoch-reflektierenden Metallschicht. Diese wird üblicherweise durch aufgedampftes Aluminium erzeugt.

Um die Metallschicht zu schützen, wird direkt im Anschluss, in der gleichen Anlage, eine dünne, transparente Schutzschicht im PECVD-Prozess abgeschieden. Dabei handelt es sich um sog. Hexamethyldisiloxan, kurz HMDSO.

 

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META CIRCLE

PVD-Kurztaktanlage für die Einbindung in vollautomatische Großserien-Produktionsprozesse
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META CIRCLE

Die vollautomatische Vier-Kammeranlage META CIRCLE wurde für die Integration in vollautomatische Taktstraßen mit bis zu 8 Spritzgießanlagen entwickelt. Der horizontale Substrattransport vereinfacht die Substrathalterung und reduziert die Kosten für das Handling. Der META CIRCLE umfasst 4 Stationen: Be- und Entladen, Plasma-Vorbehandlung, Metallisierung, Plasma-Nachbehandlung. Das Hochrate-Magnetron-Sputterverfahren ermöglicht den Einsatz einer breiten Palette metallischer Beschichtungsmaterialien.

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META V 1800

Vertikale Batchanlage für die Großserienfertigung
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META V 1800

Die META V 1800 ist eine vertikale Doppeltür-Batchanlage, insbesondere für das thermische Widerstandsverdampfen von Al.

Die META V 1800 kann mit Plasma-Polymerisation (MF-PECVD) zum Aufbringen einer SiOx Schutzschicht auf dem Metall ausgerüstet werden.

Das vertikale Doppeltür-Konzept erfordert eine geringere Aufstellfläche gegenüber horizontalen Batchanlagen und ermöglicht einen effizienten Betrieb der Anlage durch das wechselseitige direkte Bestücken der Drehkörbe mit Substraten.

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MINIMET

Vollautomatische, kompakte PVD-Kurztaktanlage für die Metallisierung von Kleinteilen
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MINIMET

Die MINIMET ist eine vollautomatische PVD-Kurztaktanlage für die Einbindung in einen automatischen Fertigungsprozess mit Roboter-Be- und -Entladung. Sie verfügt über 4 Stationen: Be- und Entladung, Plasma-Vorbehandlung, Metallisierung, Plasma-Nachbehandlung.

Durch die kompakte Bauweise und geringe Aufstellfläche kann die MINIMET in unmittelbarer Nähe zu Spritzgießanlagen positioniert werden. Mit ihrer Taktzeit von 40 Sekunden kann sie die Produkte von bis zu 3 Spritzgießanlagen beschichten.

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