VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
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Kurztakt-Sputteranlagen


Typenreihe META TABLE


Eine Kurztakt-Sputteranlage für die Metallisierung von 3-D-Kunststoffteilen, welches speziell in vollautomatische Produktionslinien integrierbar ist. Hauptkomponente ist eine Magnetron-Sputterquelle die eine hohe Qualität der aufgebrachten Schicht garantiert. Leistungsfähige Pumpen sowie ein angepasstes Handlingsystem sichern kurze Prozesszeiten. Weitere hohe Vorteile für den Anwender bietet der parallel ablaufende, horizontale Substrattransport, die geringe Aufstellfläche sowie die Wartungsfreundlichkeit des Anlagensystems.
Mit optionalen Zusatzeinrichtungen ist das Anlagensystem multivalent einsetzbar.

META TABLE

META TABLE META TABLE Offen

Typenreihe META ROT


Die META ROT ist eine flexible, horizontale Kurztaktanlage zum Metallisieren, einschließlich Schutzbeschichtung von Kunststoffbauteilen und konzipiert für den Einsatz in Taktstrassen. Die Substratträger haben einen Hüllkreisdurchmesser von ca. 500 mm und eine nutzbare Beschichtungslänge von maximal 2.040 mm. Für einen typischen Beschichtungsprozess (Al/Schutzbeschichtung) beträgt die Chargenzeit ca. 4 min. Die Metallisierung erfolgt mittels einer Hochleistungssputtereinrichtung. Neben dem Standardtargetmaterial Aluminium können auch andere Metalle, wie zum Beispiel Cu, CrNi, Cr, Ag und Edelstahl eingesetzt werden.

Das Anlagenkonzept erlaubt die kundenspezifische Anpassung der Anlagenabmessungen an vorhandene Substratträgereinrichtungen.

Zur Massengüterbeschichtung von kosmetischen Verpackungseinheiten kann die Anlage in Kombination mit einem Handling und Transfersystem zur automatisierten Rotorbe- und -entstückung, in vollautomatische Produktionslinien integriert werden.

META ROT

META ROT META ROT Offen

Typenreihe META CIRCLE


Die META CIRCLE ist eine vollautomatische 5-Kammer-Sputteranlage, welches speziell für die Einbindung in Taktstraßen entwickelt wurde. über ein externes Shuttle-Fördersystem können die zu metallisierenden Substrate auf einem Warenträger der Anlage zugeführt werden. Der Substrattransport erfolgt ausschließlich horizontal. Dadurch minimieren sich die Anforderungen an die Halterung der Substrate und das Risiko von herunterfallenden Teilen. Ein systeminterner 180°-Umsetzer übernimmt die Warenträger und befördert sie in die EinAusschleuskammer. Von dort erfolgt der Warenträgertransport zu den einzelnen Prozesskammern. In den einzelnen Prozesskammern befinden sich die für die jeweiligen Beschichtungsprozesse (Vorbehandlung - Metallisierung - Schutzschicht) notwendigen Komponenten. Durch die parallel ablaufenden Prozessschritte wird erreicht, dass aller 36 Sekunden ein beschichteter Warenträger die Anlage verlassen kann und ein neuer dem Beschichtungsprozess zugeführt wird. Eine Arbeitsbühne über der Kammereinheit trägt im Wesentlichen alle Feinvakuumerzeuger. Dieses Konzept gestattet vorteilhaft die peripheren Service-Zugänge zu allen Prozesskammern.

META CIRCLE

META CIRCLE