VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
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Feinoptik


Die vollautomatischen Beschichtungssysteme der VTD-Typenreihe "VERA" wurden für den industriellen Einsatz entwickelt. Sie sind besonders für eine kostengünstige, optische Präzisionsvergütung von planen oder gewölbten Bauteilen geeignet.

Die Ausstattung jeder einzelnen Optik-Beschichtungsanlage wird präzise auf die Belange des Anwenders abgestimmt. Es sind vielfältige Applikationen möglich, sowohl bezüglich der zu beschichtenden Substrate als auch der abzuscheidenden Schichtsysteme.

Es stehen Kammergrößen von 400 mm (z.B. DREVA OPT) bis 2.800 mm (z.B. VERA 2800) zur Verfügung.

Die Erzeugung des Hochvakuums erfolgt mit industrieerprobten Pumpenkombinationen, zumeist basierend auf Refrigerator-Kryopumpe oder öldiffusionspumpe.

Diverse Substrathalterungen, wie verschiedene Kalotten oder Paletten mit regelbaren Rotations- oder Planetenantrieb, garantieren in Kombination mit Schichtdickenkorrekturblenden die gleichmäßige Schichtverteilung.

Diverse Vorbehandlungseinrichtungen sorgen für gute Haftungsbedingungen.

Die eigentliche Beschichtung erfolgt auf der Basis von Dampfquellen (Elektronenstrahl-Verdampfungseinrichtungen und/oder Widerstandsverdampfer) oft auch unter Mitwirkung einer Ionen- oder Plasmaquelle, der sogenannten ionengestützen Abscheidung. Sputtern und Ionenstrahlsputtern sind alternative Beschichtungsverfahren.

Weitere wichtige Komponenten im Prozess sind Geräte zur Schichtdickenbestimmung und -limitierung sowie zur Regelung der Aufwachsgeschwindigkeit. Für besonders anspruchsvolle Anwendungen werden zusätzlich optische Messsysteme eingesetzt.

Für den Laborbetrieb stehen kleinere Anlagen zur Verfügung.

DREVA OPT 400 - Varianten

DREVA OPT DREVA OPT Offen DREVA OPT Offen 2 DREVA OPT Offen 3
DREVA OPT EBV DREVA OPT Sputtertechnik

VERA 450

VERA 450

VERA 1100

VERA 1100 VERA 1100 Offen VERA 1100 Installation

VERA 1400

VERA 1400

VERA 1600

VERA 1600 VERA 1600 Offen

VERA 2800

VERA 2800 VERA 2800 Offen

[VERA 850 und VERA 2000 auf Anfrage]