VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
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Grundlagen


Das Ziel jeglicher Beschichtung ist die Veränderung von Oberflächeneigenschaften, die durch das Ausgangsmaterial nicht realisiert werden können.
Ein Verfahren der Herstellung von dünnen Schichten ist die Kondensation von gasförmigen Teilchen auf dem zu beschichteten Körper, die physikalische Dampfphasenabscheidung PVD (Physical Vapor Deposition). Das Beschichtungsmaterial wird vor der Kondensation durch Energieeintrag von der festen Phase in die Dampfphase überführt.

Die zu beschichtenden Teile (Substrate) werden im wechselbaren Spindelträger, z.B. der DREVA-Prozesskammer aufgenommen. Nach einer Feinreinigung und dem Aufheizen mittels der Hohlkatodenplasmaquelle passieren die Substrate in Mehrfachrotation die Beschichtungsquellen.

Die Schichtdicke, der sich infolge der Kondensation ausbildenden Hartstoffschicht, kann gewählt werden und liegt im Bereich zwischen wenigen Nanometern bis zu 10 Mikrometer.
Damit ist die Maßhaltigkeit der zu beschichteten Werkzeuge oder Bauteile gegeben.

VTD setzt in den Anlagen der DREVA Reihe folgende Verdampfungs- und Plasmaquellen ein:
  • Hohlkatodenplasmaquelle
  • Vakuumbogenverdampfungsquellen
  • Magnetronsputterquellen