Optische Vergütung

Zahlreiche Bauelemente der Feingerätetechnik und Produkte mit Spiegel- bzw. Linsensystemen beinhalten Komponenten mit optischer Funktionalität. Diese zu gewährleisten und zu optimieren, ist Aufgabe optisch aktiver Schichtsysteme. Dabei geht es im Speziellen um:

  • Verbesserung der Reflexion
  • Verbesserung der Transmission
  • Präzise Definition von Reflexion / Transmission / Absorption

Diese Eigenschaften können bei exakt festgelegten Wellenlängen oder auch in einem Wellenlängenbereich, vom ultravioletten Spektrum über den sichtbaren Bereich bis zum Infrarot, zur Wirkung gebracht werden. Die Funktion der optischen Vergütung von Substratoberflächen beruht hauptsächlich auf der Reflexion metallischer Oberflächen oder/und der Nutzung von Interferenzeffekten bei dielektrischen Schichtmaterialkombinationen. Als Grundwerkstoff für die Beschichtung finden vor allem Glas, Kunststoff, Metall oder Keramik Verwendung.

Die Herstellung dieser oft komplex-aufgebauten Schichtsysteme erfolgt in vakuumtechnischen Prozessen. Dabei kommen verschiedene Technologien zum Einsatz, welche die VTD im Bau Ihrer Anlagen der VERA-Serie umgesetzt hat. Diese umfassen u.a.:

  • Magnetron-Sputtern
  • Elektronstrahlverdampfen
  • Ionenstrahl-Sputtern