VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
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Optische Vergütung


Zahlreiche Bauelemente der Feingerätetechnik besitzen eine optische Funktionalität. Die gewünschte Funktionalität herzustellen oder zu optimieren ist Aufgabe optisch aktiver Schichtsysteme. Diese Vergütungen erfolgen häufig in vakuumtechnischen Prozessen, wobei verschiedene Verfahren zum Einsatz kommen (Bedampfen, Sputtern).

Mit der Abscheidung optischer Schichtsysteme werden verschiedene Ziele verfolgt, beispielsweise:
  • Verbesserung der Reflexion
  • Verbesserung der Transmission
  • Präzise Definition von Reflexion / Transmission / Absorption
Alle diese Eigenschaften können bei einer genau festgelegten Wellenlänge oder auch in einem Wellenlängenbereich vom ultravioletten Spektrum über den sichtbaren Bereich bis zum Infrarot zur Wirkung gebracht werden.

Die Funktion der optischen Vergütung von Substratoberflächen beruht hauptsächlich auf der Reflexion metallischer Oberflächen oder/und der Nutzung von Interferenzeffekten bei dielektrischen Schichtmaterialkombinationen.

Als Grundwerkstoff der Bauelemente finden vor allem Glas, Kunststoff, Metall oder Keramik Verwendung.