VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH
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Optische Vergütung - Grundlagen


In der Vakuumkammer der Beschichtungsanlage werden die zu beschichtenden Bauteile in ein maßgeschneidertes Halterungssystem aufgenommen und drehen sich in Einfach- oder Planetenrotation über den technologischen Einheiten.

Zur Erzeugung des erforderlichen Arbeitsvakuums von < 5 x 10-6 mbar ist ein Pumpsystem installiert, das aus einer mechanischen Pumpenkombination und einer Hochvakuumpumpe besteht. Technologieabhängig werden vorzugsweise öldiffusionspumpen, Kryopumpen oder auch Turbomolekularpumpen eingesetzt.

Je nach den Erfordernissen des Substratmaterials stehen eine standortvariable Strahlungsheizung zur Erwärmung der Teile und eine topografisch angepasste Glimmeinrichtung zur Reinigung und Aktivierung der Substratoberfläche zur Verfügung. Die Schichtabscheidung erfolgt standardmäßig durch Elektronenstrahlverdampfer mit einem Leistungsspektrum von 6 bis 15 KW oder durch widerstandbeheizte Verdampferquellen (Wendel oder Schiffchen). In einigen Anwendungsfällen, insbesondere bei der Vergütung von Kunststoffelelementen, erweist sich ein ionengestützter Verdampfungsprozess als vorteilhaft. Alternativ können Sputterquellen zum Einsatz kommen.

Zur Schichtdickenmessung und -limitierung sowie zur Regelung der Abscheidegeschwindigkeit werden technologieabhängig Schwingquarz- bzw. optische Schichtdickenmesstechnik eingesetzt.

Als Schichtmaterial finden verschiedene Metalle und Dielektrika Verwendung, deren Auswahl von der gewünschten Funktionalität des Bauelements bestimmt wird.